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近日，重组后的miDALIX d.o.o. 发布了最新款光刻机DaLI-A。DaLI-A相比原型号Proto Laser LDI，在固件和软件上均做了升级，产品的性能更稳定、技术更先进、应用表现更优异。
DaLI-A产品外观图
DaLI-A是一台桌面化的小型设备，占地小；软件自动化控制，用户操作省心便捷。
DaLI无掩膜纳米光刻机采用了超越光刻技术极限的亚纳米级AOD激光操控技术，光斑定位精度可达0.1nm。
DaLI拥有的整机恒温系统，控温精度可达±0.1℃，这将设备所有部件的温差形变和热漂移降到最低，从而实现真正的高精度光刻。
DaLI无掩膜纳米光刻机适用的光刻胶种类很多，如各种I线光刻胶：AZ系列正胶、SU-8系列负胶等。无论厚胶还是薄胶，DaLI在应用中都能表现出色。
目前，DaLI-A应用的领域有：微机电系统加工、微流控芯片制作、微纳器件加工、光学微透镜与光波导加工、原型机设计以及构建其他特殊结构等等。
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