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DaLI系列无掩膜纳米光刻机

DaLI-A.jpg

品牌:miDALIX

型号:DaLI

产地:欧洲

用途:基于无掩膜光刻技术的各种微纳加工

主要特点:采用AOD激光操控技术,光斑定位精度优于1nm,高精度套刻对准,结构边缘超平滑,可轻松构建1微米以下线宽结构。

[查看详情]

先进的AOD激光操控技术,使得DaLI具有超高的激光定位精度(优于1nm),半永久性的有效寿命,以及极高的稳定性。DaLI主要适用于广泛应用于MEMS、材料科学、微流控、微光学器件及其它微纳加工领域。(此为进口光刻机,咨询国产光刻机请拨打产品热线)

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