会员等级：高级会员
品牌：miDALIX
型号：DaLI
产地：欧洲
用途：基于无掩膜光刻技术的各种微纳加工
主要特点：采用AOD激光操控技术，光斑定位精度优于1nm，高精度套刻对准，结构边缘超平滑，可轻松构建1微米以下线宽结构。
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先进的AOD激光操控技术，使得DaLI具有超高的激光定位精度（优于1nm），半永久性的有效寿命，以及极高的稳定性。DaLI主要适用于广泛应用于MEMS、材料科学、微流控、微光学器件及其它微纳加工领域。（此为进口光刻机，咨询国产光刻机请拨打产品热线）
